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Lame d'onde d'ordre zéro espacée d'air de 193 nm

MAISON Polariseurs VUV personnalisés pour laser à 193 nm

Lame d'onde d'ordre zéro espacée d'air de 193 nm

lame à ondes ultraviolettes profondes
Lame d'onde d'ordre zéro espacée d'air de 193 nm

La lame d'onde d'ordre zéro à espacement d'air de 193 nm, sans couche adhésive, offre une excellente stabilité structurelle et des performances anti-vieillissement. Le quartz résiste à la corrosion UV profonde et convient au fonctionnement continu des lasers haute puissance, avec un contrôle constant de la polarisation.

Caractéristiques:

Espacement d'air

Épaisseur 0,3~1,5 mm

Seuil de dommage élevé

Revêtement AR et monté

  • Numéro d'article :

    WPA-193nm
  • Origine du produit :

    FuZhou
NOUVEAUX PRODUITS

Caractéristiques:

Matériel:
Quartz
Tolérance de diamètre :
+0,0, -0,1 mm
Distorsion du front d'onde :
λ/8 à 632,8 nm
Tolérance au retard :
λ/50
Parallélisme:
<1 seconde d'arc
Qualité de surface :
20/10
Ouverture claire :
>80%
Revêtement:
S1 et S2 : R<0,2 % à la longueur d'onde
Longueur d'onde standard :
193 nm

Produits standards:

Plaques demi-onde P/N#
Lames quart d'onde P/N#
Diamètre (mm)
WPA-210-193
WPA-410-193
10.0
WPA-212-193
WPA-412-193
12,7
WPA-215-193
WPA-415-193
15.0
WPA-220-193
WPA-420-193
20.0
WPA-225-193
WPA-425-193
25,4
WPA-230-193
WPA-430-193
30,0
WPA-235-193
WPA-435-193
35,0
WPA-250-193
WPA-450-193
50,0

Avantages techniques de la lame d'onde d'ordre zéro espacée d'air de 193 nm :

La lame d'onde à entrefer de 193 nm utilise une structure à double quartz, réduisant considérablement les pertes par absorption et offrant une excellente transmittance dans les bandes UV profondes, comme pour les lasers excimères ArF. Sa conception à entrefer évite les contraintes thermiques dues au collage, garantissant ainsi un fonctionnement laser haute puissance à long terme. Grâce à la finition par faisceau d'ions, elle atteint une planéité de surface nanométrique, réduisant significativement les pertes par diffusion et optimisant la qualité du front d'onde, idéale pour un contrôle de polarisation de haute précision en lithographie.

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