Lame d'onde d'ordre zéro espacée d'air de 193 nm
La lame d'onde d'ordre zéro à espacement d'air de 193 nm, sans couche adhésive, offre une excellente stabilité structurelle et des performances anti-vieillissement. Le quartz résiste à la corrosion UV profonde et convient au fonctionnement continu des lasers haute puissance, avec un contrôle constant de la polarisation.
Caractéristiques: Espacement d'air Épaisseur 0,3~1,5 mm Seuil de dommage élevé Revêtement AR et monté | ![]() |
Numéro d'article :
WPA-193nmOrigine du produit :
FuZhouCaractéristiques:
Matériel: | Quartz |
Tolérance de diamètre : | +0,0, -0,1 mm |
Distorsion du front d'onde : | λ/8 à 632,8 nm |
Tolérance au retard : | λ/50 |
Parallélisme: | <1 seconde d'arc |
Qualité de surface : | 20/10 |
Ouverture claire : | >80% |
Revêtement: | S1 et S2 : R<0,2 % à la longueur d'onde |
Longueur d'onde standard : | 193 nm |
Produits standards:
Plaques demi-onde P/N# | Lames quart d'onde P/N# | Diamètre (mm) |
WPA-210-193 | WPA-410-193 | 10.0 |
WPA-212-193 | WPA-412-193 | 12,7 |
WPA-215-193 | WPA-415-193 | 15.0 |
WPA-220-193 | WPA-420-193 | 20.0 |
WPA-225-193 | WPA-425-193 | 25,4 |
WPA-230-193 | WPA-430-193 | 30,0 |
WPA-235-193 | WPA-435-193 | 35,0 |
WPA-250-193 | WPA-450-193 | 50,0 |
Avantages techniques de la lame d'onde d'ordre zéro espacée d'air de 193 nm :
La lame d'onde à entrefer de 193 nm utilise une structure à double quartz, réduisant considérablement les pertes par absorption et offrant une excellente transmittance dans les bandes UV profondes, comme pour les lasers excimères ArF. Sa conception à entrefer évite les contraintes thermiques dues au collage, garantissant ainsi un fonctionnement laser haute puissance à long terme. Grâce à la finition par faisceau d'ions, elle atteint une planéité de surface nanométrique, réduisant significativement les pertes par diffusion et optimisant la qualité du front d'onde, idéale pour un contrôle de polarisation de haute précision en lithographie.